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磁性薄膜集積化技術

 チップ外観
チップ外観

  CMOS/BIPOLAR IC上への薄膜積層技術、MR-IC集積化の基本技術です。 ICウエハの絶縁層上へ、NiFe(ニッケル鉄合金)を薄膜形成・パターンニング で積層化し、薄膜素子をつくることができます。



製品例

MRセンサデバイス


小型、高感度の磁気抵抗センサで、非接触での回転数や位置検出に 優れた性能を発揮します。携帯電話をはじめ皆様の身の回りの製品に 搭載されています。





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