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蛍光X線分析装置は、非破壊で固体表面（深さ~数百μm）の
元素をppmオーダーで同定することができます。
RoHS指令の対照構成元素であるPb、Cd、Hg、Br、Crの定量分析を行なえます。
装置外観（左）/モード樹脂の蛍光X線分析による定量分析（右）
微細な領域をSEMで観察しながら表面（?数μm）組成分析、不純物元素の
同定を行なうことができます。
最表面（~数nm）の元素の同定が可能です。イオンビームでエッチングしながら深さ方向の情報をとることも可能です。
